數(shù)控中走絲，特別地，電容式傳感器還可以承受更高的滿量程過(guò)載，這點(diǎn)對(duì)于小量程測(cè)試應(yīng)用也是十分重要的，因?yàn)橄鄬?duì)高的壓力載荷經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)在小量程壓力檢測(cè)過(guò)程中。通過(guò)上述分析可知，電容式壓力傳感器很適合用于小量程壓力測(cè)量。

數(shù)控中走絲，回首歷史，電容式傳感器很早就被用來(lái)測(cè)量壓力、位移等。但由于當(dāng)時(shí)技術(shù)水平的限制，使它的應(yīng)用面臨較多的困難，發(fā)展相對(duì)緩慢。隨著科技的日新月異，特別是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步，新材料、新工藝、新電路得以不斷被開(kāi)發(fā)，電容式傳感器曾經(jīng)遇到的許多技術(shù)問(wèn)題都能夠得到解決，所以從20世紀(jì)80年代開(kāi)始,各國(guó)開(kāi)始對(duì)MEMS電容式壓力傳感器進(jìn)行研究。

數(shù)控中走絲，作為MEMS壓力傳感器的一個(gè)重要發(fā)展方向，國(guó)內(nèi)外都探索了如何提高傳感器在測(cè)量小量程壓力時(shí)的靈敏度，但研究主要集中在壓阻式傳感器，對(duì)電容式傳感器的關(guān)注卻比較少。數(shù)控中走絲，國(guó)外研制的小量程MEMS電容式壓力傳感器初步實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品化，國(guó)內(nèi)卻僅有中國(guó)科學(xué)院的王躍林教授所帶領(lǐng)的研究團(tuán)隊(duì)對(duì)此領(lǐng)域開(kāi)展了系列研究。